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定制漏孔(氦檢漏儀內(nèi)置標準漏孔)VTL-EA型

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分,與檢漏儀的精確度息息相關(guān),檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。

關(guān)鍵詞:標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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產(chǎn)品詳情

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分,與檢漏儀的精確度息息相關(guān),檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。通過比較檢漏儀對這些標準漏孔進行檢測時的響應(yīng)值與實際尺寸的差異,可以評估檢漏儀的檢測精度和穩(wěn)定性,在檢漏儀的檢測過程中,由于受到環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響,檢測結(jié)果可能會出現(xiàn)誤差。此時若采用標準漏孔進行校準,便可以提高檢測儀器的準確性和可靠性。

 目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標準漏孔,漏率一般是10-8Pa·m3/s量級,東貝真空制作的內(nèi)置標準漏孔是采用微通道毛細管的通道型漏孔。

 

技術(shù)參數(shù)一覽表

VTL

-EA

漏孔元件

微通道毛細管

漏率

10-8Pa.m3/s (其他漏率可定制)

充壓

可重復(fù)充氣

對外接口

根據(jù)檢漏儀接口定制,如KF16

示值允許偏差

±10%

溫度補償

<0.3%/℃

應(yīng)用

可以替代當(dāng)前主流品牌檢漏儀的內(nèi)置漏孔,例如:INFICON(英??担eybold(萊寶)、Pfeiffer/Adixen(普發(fā)/阿爾卡特)、KYKY

 

特點

抗震抗摔,使用壽命長:檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔,泄漏元件是玻璃滲透膜,非常容易破碎損壞,而且不能充氣重復(fù)使用,廠家建議一般2年更換漏孔,東貝真空采用的微通道毛細管通道型漏孔,抗震抗摔,使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長。

漏率穩(wěn)定:檢漏儀自帶的滲氦漏孔,溫度系數(shù)一般為3.0%~4.0%/℃,由于天氣不同的溫差,以及檢漏儀內(nèi)部開機前后內(nèi)部相對封閉環(huán)境的溫度變化等,均會對漏孔的漏率影響較大,而且滲氦漏孔的穩(wěn)定時間非常長,通常需要幾個小時,這必然會造成檢漏儀的偏差;東貝真空采用的微通道毛細管技術(shù)溫度補償小于0.3%/℃,可忽略溫度補償(溫度變化10℃漏率變化相當(dāng)于滲氦漏孔變化1℃)。

 

 

 

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